氮化硅陶瓷具有高硬度、高耐磨、耐腐蚀、耐高温以及优异的化学稳定性，是高端研磨介质和研磨设备内衬的理想材料。相较于氮化铝等材料，氮化硅的磨耗量低一个数量级，具有极长的使用寿命和极低的污染物引入，可以保证超纯材料的纯度。
