碳化硅晶圆处理组件

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碳化硅晶圆处理组件全产品展示

产品介绍

在光伏与半导体制造领域,碳化硅晶舟、舟托因其耐高温、抗热震、高纯低污、承载强、高温不变形且导热均匀、寿命长、节能,有效解决了传统石英舟托易变形、寿命短的痛点,在半导体及光伏制造中作为载具广泛应用于晶圆扩散、氧化、PECVD、退火等高温处理工艺。

产品特点

  • 超高强度
  • 超高硬度
  • 耐高温冲击
  • 高耐腐蚀性