在光伏与半导体制造领域,碳化硅晶舟、舟托因其耐高温、抗热震、高纯低污、承载强、高温不变形且导热均匀、寿命长、节能,有效解决了传统石英舟托易变形、寿命短的痛点,在半导体及光伏制造中作为载具广泛应用于晶圆扩散、氧化、PECVD、退火等高温处理工艺。